Гелиевый течеискатель UL3000 FAB ULTRA
Течеискатель UL3000 FAB разработан специально для контроля утечек в полупроводниковой промышленности.
Низкий центр тяжести, большие колеса, эргономичная ручка и тонкий корпус обеспечивают хорошую мобильность UL3000 Fab (ULTRA) даже в ограниченном пространстве. Помимо мобильности, течеискатель выделяется быстрым запуском, высокой чувствительностью, быстрыми и точными результатами испытаний и надежностью.
Поворотный дисплей и дистанционно управляемый пользовательский интерфейс
Новый сенсорный дисплей отображает результаты испытаний и информацию о которую можно увидеть даже с дальнего расстояния. Простое управление с помощью структуры меню, подойдёт даже операторам без опыта. Беспроводное управление UL3000 Fab (ULTRA) возможно через смартфон или планшет без специального программного обеспечения или приложений. Запись и хранение результатов можно перенести на другой носитель для дальнейшего анализа.
Преимущества
• Быстрое время откачки благодаря высокой скорости откачки воздуха
• Низкая общая стоимость владения благодаря низким эксплуатационные расходам на насос Рутса.-
• Программное обеспечение HYDRO·S устраняет фон водяного пара, что позволяет быстро достичь чувствительных диапазонов измерений.
• UL3000 Fab ULTRA обладает улучшенными возможностями обнаружения за счет использования хорошо зарекомендовавшей себя линейки щупов SL3000, длина которых достигает 10 м.
• SL3000 имеет отдельный порт подключения, таким образом, подключение к вакуумному входу не требуется.
Технические данные
| UL 3000 Fab | |
| Мин. скорость обнаруживаемая утечки (вакуумный метод) | 5∙10-12 мбар∙л/с |
| Мин. скорость обнаруживаемая утечки (метод щупа) | 5∙10-8 мбар∙л/с |
| Макс. входное давление (режим MASSIVE) | 1000 мбар |
| Скорость откачки | >32 м³/ч |
| Скорость откачки гелия (высокочувствительный режим ULTRA) | 4 л/с |
| Время отклика | <1 сек. |
| Время выхода на рабочий режим | < 3 мин. |
| Обнаруживаемые массы (сенсорная технология ULTRATEST) | 2, 3, 4 (Н2, 3Не, Не) |
| Интерфейс | 2 х USB, Ethernet/LAN |
| Потребляемая мощность | 700 - 1 500 VA |
| Габаритные размеры (Ш x Г x В) | 1050 x 472 x 987 мм |
| Вес | 132 кг |
