Гелиевый течеискатель Inficon UL6000 FAB (НОВИНКА!)

Inficon UL6000 Fab

Инновационная серия продуктов UL6000 Fab устанавливает новый эталон быстрого обнаружения утечек и позволяет значительно сократить временя простоя и максимизировать производительность. Используя запатентованные программные алгоритмы INFICON I·CAL и HYDRO·S в проверенной на практике вакуумной конструкции, UL6000 обеспечивает гибкость тестирования, высокую чувствительность и быстрые точные результаты, что делает любое приложение для обнаружения утечек быстрым и простым. UL6000 обеспечивает самое быстрое время отклика во всех диапазонах измерений и очень короткое время цикла при достижении условий испытаний и окончательных результатов. Специально разработанная вакуумная конструкция обеспечивает постоянную высокую скорость откачки гелия и чрезвычайно малое время отклика.

Поиск негерметичности занимает много времени и является сложным процессом. Измеряя скорость нарастания, полупроводниковое и вакуумное оборудование непрерывно контролируется во время работы. При обнаружении течи, места утечки затем локализуются с использованием метода распыления гелия, позволяющего произвести необходимый ремонт. Затем следует еще одно испытание на герметичность с использованием повышения давления или так называемого измерения вакуума (процесс, который необходимо повторять до тех пор, пока не будут обнаружены все утечки). Для получения максимально точных показателей, время затрачиваемое для измерения увеличивается в зависимости от размеров оборудования. Благодаря интеллектуальной функции измерения скорости нарастания давления I·RAISE новый UL 6000 Fab PLUS теперь самостоятельно выполняет измерение повышения давления в сочетании с методом распыления гелия. Запатентованная система позволяет значительно сократить время измерения и, таким образом, помогает свести к минимуму как общее время на проверку герметичности, так и техническое обслуживание производственного оборудования.

Сферы применения
Производство полупроводников: компьютерные чипы, процессоры, память или другие полупроводники
Производство плоскопанельных дисплеев: от самых маленьких интеллектуальных устройств до больших плоских экранов
Производство солнечных батарей: наземные солнечные батареи и высокопроизводительные модели для космической техники
Аэрокосмическая промышленность: узлы, агрегаты и системы

Преимущества
• Скорость и точность, более короткое время отклика и более быстрое удаление гелия, особенно при больших объемах
• Самое короткое время откачки, очень прочный, требует минимального технического обслуживания, выдерживает давление водяного пара.
• Программный алгоритм, позволяющий сэкономить время.
• Низкий фон гелия в кратчайшие сроки надежно обнаруживает даже самые незначительные утечки.
• Проверка на герметичность начинается при атмосферном давлении, метод распыления также позволяет обнаружить большие утечки.
• Устраняет содержание воды в сигнале для быстрого достижения низкого уровня фона в начале теста.
• Измеряет концентрацию гелия в окружающей среде для обеспечения оптимальных условий измерения.

Технические данные

  UL 6000 Fab
Мин. скорость обнаруживаемая утечки (вакуумный метод)  5∙10-12 мбар∙л/с
Мин. скорость обнаруживаемая утечки (метод щупа) 5∙10-8 мбар∙л/с
Макс. скорость откачки форвакуумного насоса 36 м³/ч
Скорость откачки на входе (100-1000 мбар) 23 м³/ч
Скорость откачки на входе (10-100 мбар) 26 м³/ч
Скорость откачки на входе (1-10 мбар) 26 м³/ч
Скорость откачки гелия  (ULTRA Mode) > 36 л/с
Время отклика 1.4 сек.
Время откачки 16 сек.
Время откачки до 1 мбар 52 сек.
Время выхода на рабочий режим <2 мин.
Время калибровки <30  сек.
Входной фланец DN63 ISO-K
Обнаруживаемые массы (сенсорная технология ULTRATEST) 2, 3, 4 (Н2, 3Не, Не)
Макс. потребляемая мощность 1500 VA
Стандартная потребляемая мощность 700 VA
Габаритные размеры (Ш x Г x В) 1050 х 472 х 1040 мм
Вес 144 кг

000pdf  Скачать буклет UL6000 FAB

Цена
от 7 500 000 руб.
Отправьте запрос на данное оборудование
ФИО*
Название компании*
E-mail для связи*
Телефон для связи*